半導体搬送ロボット
GTVCR53305軸真空水平多関節型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- GTVCR5330
- 設置環境
- クリーンルーム内大気：温度 15℃〜40℃
プロセスチャンバ内温度： 最大450℃ - アーム
- シングルアーム
- 到達距離
- 635 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 60 mm
- 可搬質量
- 4 kg以下 (第3関節換算)
製品動画
製品型式一覧
| GTVCR5330-060-AM | 60 mm |
|---|
製品特徴
5軸真空水平多関節型クリーンロボット GTVCR5000シリーズ。
従来機GTVHR5000シリーズの性能、機能を維持したまま価格ダウンを実現。
真空環境下の並列配置されたチャンバーステージへ搬送することができます。
多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。
フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与します。
チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。
レイアウトのインライン化に最適。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
- アームバリエーション: 280 mm, 330 mm
- アーム関節部には磁性流体シール使用
- 真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用
- クリーン対応：アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備
- ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- ウェーハ保持：落し込み、自重グリップチャック、Oリングによる摩擦保持
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | GTVCR5330-060-AM |
| 被搬送物 | 〜300 mmウェーハ |
| 機械構造形式 | 水平多関節型 |
| 制御軸 | 5軸 |
| モータタイプ | 全軸ACサーボモータ |
| 動作範囲 | アーム第3関節中心：635 mm 旋回角度(θ軸)：360度 上下ストローク(Z軸)：60 mm |
| 搬送速度（平均） | アーム(R軸)：640 mm/sec 旋回角度(θ軸)：160度/sec 上下ストローク(Z軸)：60 mm/sec |
| 搬送速度（最高） | アーム(R軸)：950 mm/sec 旋回角度(θ軸)：200度/sec 上下ストローク(Z軸)：85 mm/sec |
| 分解能 | 第1関節軸（J1軸）：0.00081度 第2関節軸（J2軸）：0.00081度 第3関節軸（J3軸）：0.00072度 第3関節軸（J5軸）：0.00072度 Z軸（J4軸）：0.98µm |
| 搬送レベル | 219 mm(フランジ取付面より上チャックの搬送面まで) |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| クリーン対策 | 磁性流体シール及びフィルタにより対策 |
| 耐真空度 | 1×10-6Pa |
| ユーティリティ | 電源：単相AC200〜230V 2 kVA 50/60Hz |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | C5000Sシリーズ |
| インタフェース | RS232C, パラレルフォトI/O |
