ウェーハチャック
画像 | 品名- | 型式 | 価格(税込) |
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吸着チャックI型の真空吸着チャックです。 ウェーハサイズ200mm以下の搬送に適しています。(ランダムアクセス対応) 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。 ... |
SC-IW-200 | 56,100円 ...詳細 |
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吸着チャックI型の真空吸着チャックです。 ウェーハサイズ300mm以下の搬送に適しています。(ランダムアクセス対応) 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。 ... |
SC-IW-240 | 58,300円 ...詳細 |
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吸着チャックY型の真空吸着チャックです。 ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。(ランダムアクセス対応) 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。 仕様... |
3D-01661 | 104,500円 ...詳細 |
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吸着チャックY型の真空吸着チャックです。 ウェーハサイズ150mm、200mm、300mmの搬送に適しています。(ランダムアクセス対応) 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および... |
3D-02229 | 99,000円 ...詳細 |