半導体用ロボット共通の手順となります。
コントローラLEDディスプレイに表示されるエラーを確認します。
エラーがある場合
16進数2桁で最近のエラー4つ分を表示します。 表示の順番は一番左が最新のエラーで、順に履歴を表示します。
表示例
コントローラーLEDディスプレイに表示されたエラー内容を下記に従い原因を取り除いて再運転して下さい。
下記エラーの発生は"01""02""03""04""05""06"エラーとなります。