反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。
弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。
サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。

基板に対してベルヌーイの力でワークを引きつけます。
搬送時のズレを防止する為にエッジ部のガイドでズレを制限します。
エッジ以外は接触をしないで浮上しています。
ひとつのチャックでひとつのサイズのウェーハとなります。
引きつける力がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。
また、表裏の両面に対して非接触となるので、接触ができないウェーハに対しても有効です。

※チャックは、ワークを搬送するためにロボットのアーム部先端に取り付けるもので、ワークに適した様々な形状及び材質があります。チャックは、別名でロボットハンドやエンドエフェクタとも呼ばれています。