左右フリックでスクロールします。
下記掲載ロボットは当社システムの一例です。
| 本体 サイズ |
小型 | 中型 | 大型 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| シリーズ | SCR/STCR | GCR | MCR/MTCR | GCR/GTCR | |
| 画像 |  |
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| モータ | ステッピング/ ステッピングモータクローズドループ仕様 |
サーボ | サーボ | サーボ | |
| 搬送物 サイズ |
〜300 mm | 〜300 mm | 〜300 mm | 〜300 mm | |
| 搬送 形態 |
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※各種仕様ワークサイズはお問い合わせ下さい
左右フリックでスクロールします。
下記掲載システムは当社システムの一例です。
| 本体 サイズ |
小型 | 大型 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| シリーズ | SSY-10000(100 mm) | プロトスキャリア対応自動移載システム | SSY-10020 | SORTER SYSTEM | |
| 画像 |  ※写真は一例です |
 ※写真は一例です |
 ※写真は一例です |
 ※写真は一例です |
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| 特徴・用途 | 卓上の顕微鏡や検査装置の半自動化 | プロトスキャリア内の薄物ウェーハ搬送 | サセプタ・トレイへのウェーハの自動供給/回収 | FOUPカセットからウェーハ取出し/振分け | |
| 搬送物 サイズ |
〜100 mm (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等) | 200 mm/300 mm シリコンウェーハ, プロトススペーサ（層間紙） | 100 mmウェーハ, 330 mmサセプタ・トレイ | 150 mm/300 mm | |
※各種仕様ワークサイズはお問い合わせ下さい