システム
SSY-11010プロトスキャリア対応自動移載システム
環境と仕様
製品概要
- 製品型式
- SSY-11010
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- 対応カセット
- 200 mm カセット
200 mm プロトスキャリア - 被搬送サイズ
- 200 mm
- 被搬送物
- シリコンウェーハ, プロトススペーサ（層間紙）
ワークサイズ、プロトス数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。プロトスキャリアは各社対応致します。詳細はお問合せください。
製品特徴
プロトスキャリア、ウェーハカセット内の薄物ウェーハを高精度に自動搬送。
プロトスキャリア蓋の自動開閉機構搭載（特許出願中）
- プロトスキャリアにある、ウェーハとプロトススペーサ（層間紙）を自動識別
- パッケージ、アンパッケージ共に1台で対応可能です。
- プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載
- ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応
- ワークの高さも自動認識
- 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応
- アキレス社製プロトスキャリア対応
- ファンフィルタユニット（HEPA仕様）を2基配置し、クリーン度を確保
- カラーセンサ搭載により、色の異なるプロトススペーサ（層間紙）も検出可能
標準仕様
| 搬送物 | 200 mm シリコンウェーハ, 200 mm プロトススペーサ（層間紙） |
|---|---|
| 対応カセット | 200 mm プロトスキャリア, 200 mm カセット |
| クリーン度 | ISOクラス2 |
| 外形寸法 | W 1600 x D 1305 x H 1800（mm） |
| ユーティリティ | 電源：AC200V±10% クリーンエア：0.5 MPa 150 NL/min以上 |
| 質量 | 700 kg |
