システム
SSY-10000(100 mmウェーハ卓上システム)卓上ローダシステム
環境と仕様
製品概要
- 製品型式
- SSY-10000
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- 到達距離
- 225 mm (ワーク中心距離)
- 被搬送サイズ
- 〜100 mm
- 被搬送物
- ガラス, サファイア, SiC, GaN等のウェーハ
詳細はお問合せください - 可搬質量
- 0.1 kg(ワークのみ)
製品動画
製品特徴
2、3インチ、100 mmガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハに対応した卓上ローダーシステム。
- ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム
- X軸190 mm、Y軸200 mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能
- 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能
- ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現
標準仕様
| 被搬送物 | 〜100 mmウェーハ (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等) |
|---|---|
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：225 mm 旋回角度(θ軸)360度 上下ストローク(Z軸)：150 mm |
| 搬送速度 （平均速度） | アーム(R軸)：225 mm/sec 旋回角度(θ軸)：500度/sec 上下ストローク(Z軸)：200 mm/sec |
| 搬送速度 （最高速度） | アーム(R軸)：300 mm/sec 旋回角度(θ軸)：700度/sec 上下ストローク(Z軸)：300 mm/sec |
| ウェーハ保持方式 | 真空吸着による保持 |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| クリーン度 | ISOクラス2以下（駆動部排気時） |
| 質量 | ロボット本体 約15 kg |
| ユーティリティ | 電源：AC100V±10% 0.2 kVA 真空：-53 kPa以上 |
