型式 | 対象ウェーハ | スループット | タイプ |
---|---|---|---|
SORTER SYSTEM | 300 mmシリコンウェーハ | 300枚/h | 4ポートインラインタイプ |
SORTER SYSTEM | 300 mmシリコンウェーハ | 400枚/h | 4ポート対向タイプ |
SORTER SYSTEM | 300 mmシリコンウェーハ | 600枚/h | 4ポートインラインタイプ |
SORTER SYSTEM |
150 mm ガラス、サファイア、GaAsウェーハ | 140枚/h | カセット2段タイプ |