システム
SORTER SYSTEM (4ポート対向タイプ 400枚/h)ソーターシステム
製品特徴
300 mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。
振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。
振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。
- SEMI Standardに準拠 (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
- アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にし、高スループットを実現 (400枚/h)
- 搬送ロボットはパスプランニング方式を採用し、走行軸なしで並列配置のカセットに対応
- 搬送ロボットはエリア制御を行い、スムーズかつスピーディに搬送可能
- IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能 (表裏対応はオプション)
標準仕様
| 対象キャリア | 300 mm FOUP (25枚) SEMI E47.1, E62準拠品 |
|---|---|
| 対象ウェーハ | 300 mmシリコンウェーハ 厚さ775µm |
| スループット | 400枚/h |
| クリーン度 | ISOクラス2 (FFU搭載時) |
| 外形寸法 | W 1756x D 1200 x H 1901 |
| 質量 | 約600 kg |
| ユーティリティ | 電源：単相 AC200V±15% 20A ドライエア：0.7MPa〜0.4MPa 真空：-60kPa以上 |
オプション
その他のオプション
※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。