システム
SORTER SYSTEM (4ポートインラインタイプ 300枚/h)ソーターシステム
製品動画
製品特徴
300 mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。
振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。
振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。
- SEMI Standardに準拠 (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
- アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にし、高スループットを実現 (300枚/h)
- IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能 (表裏対応はオプション)
標準仕様
| 対象キャリア | 300 mm FOUP（25枚） SEMI E47.1, E62準拠品 |
|---|---|
| 対象ウェーハ | 300 mmシリコンウェーハ 厚さ775µm |
| スループット | 300枚/h |
| クリーン度 | ISOクラス2（FFU搭載時） |
| 外形寸法 | W 1250 x D 2500 x H 1900 |
| 質量 | 約800 kg |
| ユーティリティ | 電源：単相 AC200V±10% 2 kVA ドライエア：0.5MPa±10% 真空：-53 kPa以上 |
オプション
その他のオプション
※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。