150 mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。
振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。
振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。
搬送物 | 150 mmウェーハ(ガラス, サファイア, GaAs) |
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処理枚数 | 140枚/h (装置側の処理時間は含みません) |
<GCR4210-500-AM> | |
動作範囲 | ワーク中心距離:672 mm 旋回角度(θ軸):335度 上下ストローク(Z軸):500 mm 反転軸:180度 |
搬送速度(平均速度) | アーム:550 mm/sec 旋回角度(θ軸):300度/sec 上下ストローク(Z軸):300 mm/sec |
搬送速度(最大速度) | アーム:900 mm/sec 旋回角度(θ軸):400度/sec 上下ストローク(Z軸):450 mm/sec |
反転ユニットなし吸着搬送時 | アーム:1800 mm/sec 旋回角度(θ軸):540度/sec 上下ストローク(Z軸):500 mm/sec |
繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
<SAL3361GR> | |
位置決め精度 | センタリング ±0.2 mm以内 オリフラロケート ±0.2度以内 |
位置決め時間 | ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作なしの場合) |
位置補正範囲 | 半径4mm以内 |
<システム> | |
ワーク保持方式 | 吸着による保持 |
クリーン度 | ISO Class2(ISO14644) |
フットプリント | 640 mm×835 mm(タッチパネルを除く) |
質量 | 約350 kg |
ユーティリティ | 電源:単相 AC200V 15A 真空:-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合) |
※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。