半導体搬送ロボット
GCR4210(サーボモータ仕様)4軸水平多関節型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- GCR4210
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- シングルアーム
- 到達距離
- 400 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 300 mm / 320 mm / 500 mm
- 可搬質量
- 4 kg (第3関節換算)
製品動画
製品型式一覧
| GCR4210-300-AM | 300 mm |
|---|---|
| GCR4210-320-AM | 320 mm |
| GCR4210-500-AM | 500 mm |
動画はGCR4210-300-AMです。
製品特徴
スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボットで、300 mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。300 mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
- ロボットのみで2FOUP対応可能
- 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化
- 従来機GHR4000タイプと比較して1.8倍高速
- ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |||
|---|---|---|---|
| ロボット型式 | GCR4210-300-AM | ||
| 被搬送物 | 〜300 mmウェーハ | ||
| ウェーハ保持方式 | チャックによる真空吸着で保持 | ||
| 機械構造形式 | 水平多関節型 | ||
| 制御軸 | 4軸 | ||
| モータタイプ | ACサーボモータ | ||
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：760 mm 旋回角度(θ軸)：335度 上下ストローク(Z軸)：300 mm | ||
| 搬送速度 | アーム(R軸)：635 mm/0.8 sec 旋回角度(θ軸)：335度/1.0 sec 上下ストローク(Z軸)：300 mm/0.9sec | ||
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 | ||
| クリーン度 | ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時） | ||
| ユーティリティ | 電源：単相 AC200V±10% 2 kVA 真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合) | ||
| 質量 | ロボット本体 約37 kg | ||
| コントローラ仕様 | |||
| コントローラ型式 | C5000Sシリーズ | ||
| インタフェース | RS232C, パラレルフォトI/O | ||
オプション
リストブロックユニット
| 型式 | リストブロック長 | マッピングセンサ | 取付チャック厚 |
|---|---|---|---|
| SARS00169 | 38 mm | なし | 2 mm |
| SARS00958 | 38 mm | なし | 3 mm |
| SARS02659 | 75 mm | なし | 2 mm |
| SARS02967 | 75 mm | なし | 3 mm |
| SARS08603 | 80 mm | 透過センサ/反射型センサ | 2 mm |
※上記は当社標準リストブロックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のリストブロックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。
チャックユニット
| 型式 | 披搬送サイズ | チャック形状(チャック厚) | 保持方式 |
|---|---|---|---|
| SC-IW-200 | 3'',100 mm〜200 mm | I 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-IW-240 | 3'',100 mm〜300 mm | I 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-200 | 100 mm〜200 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-227 | 100 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-240 | 100 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| 3D-02229 | 150 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC3-YW-240 | 300 mm | Y 型(3 mm) | 吸着保持 |
| 3D-01661 | 300 mm | Y 型(3 mm) | 吸着保持 |
| SC3-IW-240 | 300 mm | I 型(3 mm) | 吸着保持 |
※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。
到達距離
| チャック/リストブロック | SARS00169 | SARS02659 | SARS08603 | SARS00958 | SARS02967 |
|---|---|---|---|---|---|
| SC-IW-200 | 562.7 mm | 625 mm | 630 mm | - | - |
| SC-IW-240 | 602.7 mm | 665 mm | 670 mm | - | - |
| SC-YW-200 | 572.7 mm | 635 mm | 640 mm | - | - |
| SC-YW-227 | 599.7 mm | 662 mm | 667 mm | - | - |
| SC-YW-240 | 612.7 mm | 675 mm | 680 mm | - | - |
| 3D-02229 | 612.7 mm | 675 mm | 680 mm | - | - |
| SC3-YW-240 | - | - | - | 612.7 mm | 675 mm |
| 3D-01661 | - | - | - | 612.7 mm | 675 mm |
| SC3-IW-240 | - | - | - | 602.7 mm | 665 mm |