I型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ300 mm以下の搬送に適しています。（ランダムアクセス対応）
大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。
チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。

※チャックは、ワークを搬送するためにロボットのアーム部先端に取り付けるもので、ワークに適した様々な形状及び材質があります。チャックは、別名でロボットハンドやエンドエフェクタとも呼ばれています。