ガラス基板搬送ロボット
FTVHR4750 (ガラス基板対応)4軸真空リンク式クリーンロボット
画像はFTVHR4750-095-AMです
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- FTVHR4750
- 設置環境
- クリーンルーム内大気：温度 15℃〜40℃
※真空ロボットの場合…真空チャンバ内温度： 15℃〜50℃以下 - アーム
- ツインアーム
- 到達距離
- 942 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 95 mm / 105 mm / 335 mm
- 可搬質量
- 30 kg以下 (第3関節換算)
製品型式一覧
| FTVHR4750-095-AM | 95 mm |
|---|---|
| FTVHR4750-105-AM | 105 mm |
| FTVHR4750-335-AM | 335 mm |
製品特徴
マスク・ガラス基板対応の4軸円筒座標型リンク式 高真空対応クリーンロボット FTVHR4000シリーズです。
ベルトなどを使用しないリンク構造のため、低アウトガスを実現します。
液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
- 可搬質量：第3関節にて30 kg以下
- リンク式採用による、優れた直進性、低パーティクルを実現
- ツインアーム採用による、基板入替え時間の短縮
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸ACサーボモータ使用
- S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | FTVHR4750-095-AM |
| 被搬送物 | 1100 mm×1250 mm ガラス基板(代表例) |
| 機械構造形式 | 円筒座標型 |
| 制御軸 | 4軸 |
| モータタイプ | ACサーボモータ |
| 動作範囲 | アーム第3関節中心：942 mm 旋回角度(θ軸)：330度 上下ストローク(Z軸)：95 mm |
| 搬送速度 | アーム(R軸)：1924mm/2.6 sec 旋回角度(θ軸)：180度/3.5 sec 上下ストローク(Z軸)：95 mm/2.8 sec |
| 分解能 | アーム(R軸)：4.8µm以下 旋回角度(θ軸)：0.00018度 上下ストローク(Z軸)：0.12 µm以下 |
| 搬送レベル | 583.5 mm(フランジ取付面より上チャックの搬送面まで) |
| 繰り返し精度 | アーム(R軸), 旋回角度(θ軸):±0.3 mm以内 Z軸:±0.1 mm以内 |
| 耐真空度 | 1.33×10-6Pa |
| ユーティリティ | 電源：3相 AC200V±10% 4 kVA |
オプション
チャックユニット
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。
その他のオプション
※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。