半導体搬送ロボット
JVCR43304軸真空水平多関節型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- JVCR4330
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- シングルアーム
- 到達距離
- 1290 mm (ワーク中心到達距離)
- 昇降距離
- 60 mm
- 可搬質量
- 10 kg
製品動画
製品型式一覧
| JVCR4330-060-AM | 60 mm |
|---|
製品特徴
マイクロLED用4軸真空水平多関節型クリーンロボット。
- 平行配置のレイアウトへのアクセス可能
- 可搬質量10kgに対応
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | JVCR4330-060-AM |
| 被搬送物 | 700 mm サセプタ（10 kg） |
| ウェーハ保持方式 | Oリングによる摩擦保持 |
| 機械構造形式 | 水平多関節型 |
| 制御軸 | 4軸 |
| モータタイプ | ACサーボモータ |
| 動作範囲 |
ワーク中心到達距離：1290 mm 旋回角度(θ軸)：360度 上下ストローク(Z軸)：60 mm |
| 搬送速度 |
アーム(R軸)：640 mm/4.0 sec 旋回角度(θ軸)：360度/5.0 sec 上下ストローク(Z軸)：60 mm/2.0 sec |
| 分解能 |
第1関節軸(J1軸)：8.1x10-4度 第2関節軸(J2軸)：8.1x10-4度 第3関節軸(J3軸)：7.2x10-4度 Z軸(J4軸)：0.98 µm |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| クリーン度 | ロボット本体：0.1 µm/cf クラス1 |
| ユーティリティ |
電源：単相 AC200V±10% 4.0 kVA |
| 質量 | ロボット本体 約90 kg |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | C5000Sシリーズ |
| インタフェース | RS232C, パラレルフォトI/O |
