半導体搬送ロボット
MCR3160C3軸円筒座標型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- MCR3160C
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- シングルアーム
- 到達距離
- 400 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 300 mm / 400 mm / 500 mm
- 可搬質量
- 4 kg以下(第3関節換算)
製品型式一覧
| MCR3160C-300-AM | 300 mm |
|---|---|
| MCR3160C-400-AM | 400 mm |
| MCR3160C-500-AM | 500 mm |
製品特徴
スーパークリーンルーム用300 mm対応MCR3000Cシリーズ。
EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。
全軸ACサーボモータを使用しているため、ウェーハ以外にもトレイ、小型のガラス基板などを搬送することができます。
従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
- アームバリエーション:160 mm, 200 mm
- 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | MCR3160C-300-AM |
| 被搬送物 | ～300 mmウェーハ |
| ウェーハ保持方式 | 真空吸着, 落し込み, エッジグリップチャック |
| 機械構造形式 | 円筒座標型 |
| 制御軸 | 3軸 |
| モータタイプ | 全軸ACサーボモータ |
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：567.7 mm 旋回角度(θ軸)：340度 上下ストローク(Z軸)：300 mm |
| 搬送速度(平均) | アーム(R軸)：1000 mm/sec 旋回角度(θ軸)：360 度 上下ストローク(Z軸)：350 mm/sec |
| 搬送速度(最高) | アーム(R軸)：1800 mm/sec 旋回角度(θ軸)：580度/sec 上下ストローク(Z軸)：530 mm/sec |
| 分解能 | アーム(R軸)：9.82 µm以下 旋回角度(θ軸)：0.0015度 上下ストローク(Z軸)：1.96 µm |
| 搬送レベル | 639 mm（ベース取付面よりチャックの搬送面まで） |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| クリーン度 | ISOクラス2以下 (駆動部排気時) |
| ユーティリティ | 電流電圧：単相 AC200V±10% 3kVA 真空：-53 kPa以上（吸着チャック取付の場合） |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | C4000シリーズ |
| インタフェース | RS232C及びパラレルフォトI/O |
オプション
チャックユニット
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。