反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。
外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。
ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込み保持します。

• 外周から接触制限のあるウェーハをお求めやすい価格で搬送
• オプションで基板有無センサを付ける事によってウェーハの有無を確認（大気使用時）

※チャックは、ワークを搬送するためにロボットのアーム部先端に取り付けるもので、ワークに適した様々な形状及び材質があります。チャックは、別名でロボットハンドやエンドエフェクタとも呼ばれています。