システム
SSY-10010プロトスキャリア対応自動移載システム
環境と仕様
製品概要
- 製品型式
- SSY-10010
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- 対応カセット
- 200 mm カセット
200 mm プロトスキャリア - 被搬送サイズ
- 200 mm
- 被搬送物
- シリコンウェーハ, プロトススペーサ（層間紙）
ワークサイズ、プロトスキャリア数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。プロトスキャリアは各社対応致します。詳細はお問合せください。
製品動画
製品特徴
プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送。
- プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載
- ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応
- ウェーハとプロトススペーサ（層間紙）を自動識別
- ワークの高さを自動認識
- 複数カセット及び各インチサイズにも個別対応
- プロトスキャリア蓋の自動開閉機構搭載(特許出願中)
- アキレス社製プロトスキャリア対応
- ファンフィルタユニット（HEPA仕様）を配置し、クリーン度を確保
- カラーセンサ搭載により、色の異なるプロトススペーサ（層間紙）も検出可能（事前にご相談ください）
標準仕様
| 搬送物 | 200 mm シリコンウェーハ, 200 mm プロトススペーサ（層間紙） |
|---|---|
| 対応カセット | 200 mm プロトスキャリア, 200 mm カセット |
| クリーン度 | ISOクラス2 |
| 外形寸法 | W 1100 x D 980 x H 1805（mm） |
| ユーティリティ | 電源：AC200V±10% ドライクリーンエア：0.5 MPa 250 NL/min以上 |
| 質量 | 600 kg |
