半導体搬送ロボット
STCR4160SN(薄物ウェーハ及びウェーハ周辺接触吸着対応)4軸円筒座標型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- STCR4160SN
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- ツインアーム
- 到達距離
- 475 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 200 mm / 300 mm / 400 mm / 450 mm / 500 mm
- 可搬質量
- 3 kg (第3関節換算)
製品動画
製品型式一覧
| STCR4160SN-200-PM | 200 mm |
|---|---|
| STCR4160SN-300-PM | 300 mm |
| STCR4160SN-400-PM | 400 mm |
| STCR4160SN-450-PM | 450 mm |
| STCR4160SN-500-PM | 500 mm |
製品特徴
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボット。
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した薄物ウェーハ及びウェーハ周辺接触吸着対応新型ツインアームロボット。
- ステッピングモータ駆動でありながら脱調レスの制御方式を採用
- アーム第3関節換算3 kg(リストブロック、チャック、ワーク含む）
- 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | STCR4160SN-300-PM |
| リストブロック | SART09362 |
| チャック | 上チャック：3D-09371 下チャック：3D-09370 |
| 被搬送物 | 〜300 mmウェーハ |
| ウェーハ保持方式 | 上チャック: 真空吸着による保持(ウェーハ外周) 下チャック: サイクロンパッドによる吸引とフリクションゴムによる保持(接触部材質は各種製作可能) |
| 機械構造形式 | 円筒座標型 |
| 制御軸 | 4軸 |
| モータタイプ | ステッピングモータ |
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：625 mm 旋回角度(θ軸)：340度 上下ストローク(Z軸)：300 mm |
| 搬送速度(平均) | アーム(R軸)：400 mm/sec 旋回角度(θ軸)：180度/sec 上下ストローク(Z軸)：200 mm/sec |
| 搬送速度(最高) | アーム(R軸)：800 mm/sec 旋回角度(θ軸)：220度/sec 上下ストローク(Z軸)：250 mm/sec |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| クリーン度 | ISOクラス2(駆動部排気時) |
| ユーティリティ | 電源：DC24V±10% 16A クリーンエア:60SLM以上 0.1〜0.3 MPa 真空：-53 kPa以上 |
| 質量 | ロボット本体 約30 kg |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | C4000シリーズ |
| インタフェース | RS232C及びパラレルフォトI/O |
