半導体搬送ロボット
STVCR4160（サーボモータ仕様）4軸円筒座標型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- STVCR4160
- 設置環境
- 真空部：温度 15℃～50℃
駆動部：（クリーンルーム内大気）温度 15℃～40℃ - アーム
- ツインアーム
- 到達距離
- 315 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 50 mm
- 可搬質量
- 2 kg以下
製品型式一覧
| STVCR4160-050-AM | 50 mm |
|---|
- 画像はSTVCR4190-050-SMです
製品特徴
真空対応4軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
従来型STVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。
更に従来型STVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
- アームバリエーション: 160 mm, 190 mm, 260 mm
- アーム関節部には、磁性流体シール装備
- 真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用
- クリーン対応：アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備
- ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- 2相ステッピングモータ仕様も選択可能
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
- ウェーハ保持：落し込み、自重グリップチャック
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | STVCR4160-050-AM |
| 被搬送物 | ～300 mmウェーハ |
| 機械構造形式 | 円筒座標型 |
| 制御軸 | 4軸 |
| モータタイプ | 全軸ACサーボモータ |
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：600 mm 旋回角度(θ軸)：330度 上下ストローク(Z軸)：50 mm |
| 搬送速度 | アーム(R軸)：520 mm/2.0 sec 旋回角度(θ軸)：330度/2.7 sec 上下ストローク(Z軸)：50 mm/1.5 sec |
| 分解能 | アーム(R軸)：4.91 µm以下 旋回角度(θ軸)：0.00088度 上下ストローク(Z軸)：0.488µm |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| クリーン対策 | 磁性流体シール及びフィルタにより対策 |
| 耐真空度 | 1.33×10-6Pa |
| ユーティリティ | 電源：単相 AC200V±10% 1kVA |
オプション
チャックユニット
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。
その他のオプション
※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。