半導体搬送ロボット
STWCR4160 (防水対応）4軸円筒座標型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- STWCR4160
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- ツインアーム
- 到達距離
- 315 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 300 mm
- 可搬質量
- 3 kg以下(第3関節換算)
製品型式一覧
| STWCR4160-300-PM | 300 mm |
|---|
- 画像はSTWCR4160-300-PMです
製品特徴
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSTWCR4000シリーズです（300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。
保護等級IP64における酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。
- アームバリエーション：160 mm、200 mm
- アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保
- アーム関節部防水構造にVシール使用
- 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール
- Z軸部防水構造にジャバラ使用
- ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸2相ステッピングモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- ウェーハ保持：真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | STWCR4160-300-PM |
| 被搬送物 | ～300 mmウェーハ |
| 機械構造形式 | 円筒座標型 |
| 制御軸 | 4軸 |
| モータタイプ | 2相パルスモータ |
| 動作範囲 | アーム第3関節中心：315 mm 旋回角度(θ軸)：340度 上下ストローク(Z軸)：300 mm |
| 搬送速度(平均) | アーム(R軸)：280 mm/sec 旋回角度(θ軸)：90 度/sec 上下ストローク(Z軸)：90 mm/sec |
| 搬送速度(最高) | アーム(R軸)：550 mm/sec 旋回角度(θ軸)：120度/sec 上下ストローク(Z軸)：120 mm/sec |
| 分解能 | アーム(R軸)：126 µm以下 旋回角度(θ軸)：0.0045度 上下ストローク(Z軸)：6.25 µm以下 |
| 繰り返し精度 | ±0.2 mm以内 |
| ユーティリティ | 電源：DC24V±10% 11A 正圧：0.15 MPa |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | C4000シリーズ |
| インタフェース | RS232C及びパラレルフォトI/O |