半導体搬送ロボット
SVCR32603軸円筒座標型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- SVCR3260
- 設置環境
- 真空部：温度 15℃～50℃
駆動部：（クリーンルーム内大気）温度 15℃～40℃ - アーム
- シングルアーム
- 到達距離
- 520 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 20 mm/40 mm
- 可搬質量
- 2 kg (第3関節換算)
製品動画
製品型式一覧
| SVCR3260-020-PM | 20 mm |
|---|---|
| SVCR3260-040-PM | 40 mm |
- 画像及び動画はSVCR3260-040-PMです
製品特徴
真空対応3軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
従来型SVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。
従来型SVHRと取付互換をもたせた設計の為、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。
- アームバリエーション: 160 mm, 190 mm, 260 mm, 330 mm
- アーム関節部には、磁性流体シール装備
- 真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用
- クリーン対応：アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸2相ステッピングモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
- ウェーハ保持：落し込み、自重グリップチャック
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | SVCR3260-040-PM |
| 被搬送物 | ～300 mmウェーハ |
| ウェーハ保持方式 | 落とし込み/自重グリップ |
| 機械構造形式 | 円筒座標型 |
| 制御軸 | 3軸 |
| モータタイプ | 全軸2相ステッピングモータ |
| 動作範囲 | アーム第3関節中心：520 mm 旋回角度(θ軸)：330度 上下ストローク(Z軸)：40 mm |
| 搬送速度（平均） | アーム(R軸)：300 mm/sec 旋回角度(θ軸)：120度/sec 上下ストローク(Z軸)：20 mm/sec |
| 搬送速度（最高） | アーム(R軸)：550 mm/sec 旋回角度(θ軸)：170度/sec 上下ストローク(Z軸)：30 mm/sec |
| 分解能 | アーム(R軸)：82 µm以下 旋回角度(θ軸)：0.009度 上下ストローク(Z軸)：1.25µm |
| 搬送レベル | 98 mm(フランジ取付面よりチャック取付面まで) |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| クリーン対策 | 磁性流体シール及びフィルタにより対策 |
| 耐真空度 | 1.33×10-6Pa |
| ユーティリティ | 電源：DC24V±10% 8A |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | C4000シリーズ |
| インタフェース | RS232C及びパラレルフォトI/O |
オプション
チャックユニット
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。
その他のオプション
※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。