展示会情報 2015年

SEMICON JAPAN 2015

会期

2015年12月16日（水）～18日（金）

主な展示機種

• 独立昇降軸付水平多関節ロボット（DGCR)（参考出展）
• プロトスキャリア対応自動移載システム
• その他多数
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SEMICON TAIWAN 2015

会期

2015年09月02日（水）～04日（金）

主な展示機種

• プロトスキャリア対応自動移載システム
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OPTO Taiwan 2015

会期

2015年06月16日（火）～18日（木）

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SEMICON CHINA 2015

会期

2015年03月17日（火）～19日（木）

主な展示機種

• 2インチ搬送システム
• ロガーシステム
• プロトスキャリア対応自動移載システム
• 卓上ローダーシステム
• 300mmウェーハ搬送ロボット
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Automation World 2015 (AIMEX)

会期

2015年03月18日（水）～20日（金）

主な展示機種

• 5枚一括可変チャック搭載ロボット
• ロガーシステム
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SEMICON KOREA 2015

会期

2015年02月04日（水）～06日（金）

主な展示機種

• 5枚一括可変チャック搭載ロボット
• ロガーシステム
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第7回次世代照明技術展

会期

2015年01月14日（水）～16日（金）

主な展示機種

• プロトスキャリア対応自動移載システム
• ロガーシステム
• 2インチ搬送システム
• 卓上ローダーシステム
• 反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック、ベルヌーイピンセット
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