展示会情報 2022年

SEMICON JAPAN 2022

会期

2022年12月14日（水）～12月16日（金）

主な展示機種

• φ300 mm対応 GTFR
• φ300 mm対応 SAL-HV
• φ300 mm対応 25枚バッチ搬送ロボット KHR
• φ300 mm対応 TAIKO™ウェーハ搬送 MTCR
• φ300 mm対応 TAIKO™ウェーハ対応 SAL
※TAIKO™は、株式会社ディスコ（DISCO Corporation）の商標または登録商標です。
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SEMICON TAIWAN 2022

会期

2022年09月14日（水）～09月16日（金）

主な展示機種

• φ300 mm対応 GTFR
• φ300 mm対応 新型低頭SAL-HV
• φ150、200 mm 化合物対応STCR
• φ150、200 mm 化合物対応SAL
•  展示会詳細ページ

SEMICON KOREA 2022

会期

2022年02月09日（水）～02月11日（金）

主な展示機種

• φ300 mm対応 GTFR
• φ300 mm対応 新型低頭SAL-HV
• φ300 mm 25枚バッチ搬送ロボットKHR
• φ150、200 mm 化合物対応STCR
• φ150、200 mm 化合物対応SAL
• φ300 mm用テープフレーム搬送MTCR
• 5軸水平多関節 GTCR
• 4軸円筒座標型 STCR
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