出展機のご紹介
水平多関節シングルアームロボット「GTCR5280」
ツインチャック搭載によりシングルアームでありながらツインアームの機能を確保。アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータ使用により、原点復帰が不要。
新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」フルオート調整対応版
フルオート調整機能ソフト「JELアラインツール」により、多種多用なウェーハに対し自動最適化したアライメントを実現。
SEMICON KOREA 2018 は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、INA CORP., LTD. のブースにお越し頂きましたお客さまには、厚くお礼申し上げます。
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ツインチャック搭載によりシングルアームでありながらツインアームの機能を確保。アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータ使用により、原点復帰が不要。
フルオート調整機能ソフト「JELアラインツール」により、多種多用なウェーハに対し自動最適化したアライメントを実現。