出展機のご紹介
ウェーハ搬送用ロボット「STCR」
参考写真
急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上。
アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮。
光学式アライナ「SAL」
参考写真
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。
シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め。