出展機のご紹介
■3軸円筒座標型クリーンロボット「SCR3000CSNシリーズ」
■4軸水平多関節型クリーンロボット「GCR4000シリーズ」
■5軸水平多関節型クリーンロボット「GTCR5000シリーズ」
■3軸円筒座標型クリーンロボット「SVCR3000シリーズ」
■4軸円筒座標型クリーンロボット「STVCR4000シリーズ」
■4軸円筒座標型クリーンロボット「STWCR4000シリーズ」
■ベルヌーイピンセット「BRPシリーズ」
■ウェーハ用アライナ「SAL38C3HV」
■4軸円筒座標型クリーンロボット「STCR4160SN（クローズドループ制御）」
■4軸円筒座標型クリーンロボット「MTCR4160N」
■プロトスキャリア対応自動移載システム「SSY-20010」