クリーンブース設置

ロボットおよび大型システムのパーティクル測定を行います。

2016年3月に福山工場増築棟のクリーンルーム内にクリーン度クラス1のクリーンブースを設置しました。
当社既設のクリーンブースと比較して、面積比で1.8倍、容積比で2.6倍となり、システム等の比較的大型機械のクリーン度測定も可能となります。また、搭載しているフィルタは従来型ULPAフィルタ（99.999％ (0.1～0.2 µm 粒径)）に対しULPA+PTFEフィルタ（99.9999％ (0.1 µm 粒径)）となり、よりクリーンな環境での測定が可能です。

クリーンロボットとしての数値をより正確に把握し、より品質の高いクリーンロボットを提供して参ります。

クリーンブース概要