裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。
搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。
ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。

• ウェーハの裏面を接触する事なく、ウェーハの外周を挟み保持
• 外周を挟む事により、ウェーハのセンタリングが可能
• 高速搬送が可能
• ガイドの動作量によってウェーハの有無を確認

※チャックは、ワークを搬送するためにロボットのアーム部先端に取り付けるもので、ワークに適した様々な形状及び材質があります。チャックは、別名でロボットハンドやエンドエフェクタとも呼ばれています。