エッジグリップチャックではワークの外周をチャックに取り付けられた複数の爪（タブ）で掴み（グリップ） ワークを固定します。
エッジグリップの駆動方式にはエアシリンダ方式、スプリング方式等があります。

処理面に触れることが許されないウェーハの搬送やMEMSウェーハなど真空吸着では吸着面にストレスがかかりダメージを受ける可能性のある薄いウェーハの搬送に利用されます。