半導体搬送ロボット
GTFR5280（300 mmウェーハ対応）5軸水平多関節型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- GTFR5280
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- シングルアーム
- 到達距離
- 553 mm (第3関節中心到達距離)
- 昇降距離
- 320 mm
- 可搬質量
- 4 kg (第3関節換算)
製品動画
製品型式一覧
| GTFR5280-320-DM | 320 mm |
|---|
製品特徴
300 mm対応の5軸水平多関節型クリーンロボット。
ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保。
300 mm対応の半導体製造装置内、EFEMのウェーハ搬送に適しています。
弊社従来製品のGTCRと比べて動作禁止エリア、速度制限の影響を減らしサイクルタイム向上。
- ロボットのみで3FOUP対応可能
- ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮
- 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用（バッテリレス）
- ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックで対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | GTFR5280-320-DM |
| 被搬送物 | 〜300 mmウェーハ |
| ウェーハ保持方式 | チャックによる真空吸着で保持 |
| 機械構造形式 | 水平多関節型 |
| 制御軸 | 5軸 |
| モータタイプ | 全軸ACサーボモータ（バッテリレス） |
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：893 mm 上下ストローク(Z軸)：320 mm |
| 搬送速度（平均） | アーム(R軸)：900 mm/sec（円筒動作時） 上下ストローク(Z軸)：320 mm/sec |
| 搬送速度（最高） | アーム(R軸)：1500 mm/sec（円筒動作時） 上下ストローク(Z軸)：540 mm/sec |
| 繰り返し精度 | ±0.05 mm以内 |
| クリーン度 | ISOクラス1 |
| ユーティリティ | 電源：単相AC200V±10% 2 kVA 真空：-75 kPa以上(吸着チャック取付の場合) |
| 質量 | ロボット本体 約80 kg |
