半導体搬送ロボット
MTCR42004軸円筒座標型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- MTCR4200
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- ツインアーム
- 昇降距離
- 300 mm / 400 mm / 500 mm
製品型式一覧
| 標準 | MTCR4200-300-AM | 300 mm |
|---|---|---|
| MTCR4200-400-AM | 400 mm | |
| MTCR4200-500-AM | 500 mm |
製品特徴
スーパークリーンルーム用300 mm対応MTCRシリーズ。
EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。
全軸ACサーボモータを使用しているため、ウェーハ以外にもトレイ、小型のガラス基板などを搬送することができます。
従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。
CEマーキング認証取得しました。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
- アームバリエーション:160 mm, 200 mm
- ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮ができ、タクトタイムの向上が可能
- 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
オプション
チャックユニット
| 型式 | 披搬送サイズ | チャック形状(チャック厚) | 保持方式 |
|---|---|---|---|
| SC-IW-200 | 3'',100 mm〜200 mm | I 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-IW-240 | 3'',100 mm〜300 mm | I 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-200 | 100 mm〜200 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-227 | 100 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-240 | 100 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| 3D-02229 | 150 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC3-YW-240 | 300 mm | Y 型(3 mm) | 吸着保持 |
| 3D-01661 | 300 mm | Y 型(3 mm) | 吸着保持 |
| SC3-IW-240 | 300 mm | I 型(3 mm) | 吸着保持 |
※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。