半導体搬送ロボット

SCR3100S（小径ウェーハ用）3軸円筒座標型クリーンロボット

型式と昇降距離（mm）
SCR3100S-200-PM	200 mm
SCR3100S-300-PM	300 mm

※動画はSCR3100S-200-PMです

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズです。
省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

本仕様は当社標準チャック（吸着タイプ）装着時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式	SCR3100S-200-PM
リストブロック	SARS00169
チャック	3D-02535
被搬送物	～150 mmウェーハ
ウェーハ保持方式	チャックによる真空吸着
機械構造形式	円筒座標型
制御軸	3軸
モータタイプ	ステッピングモータ
動作範囲	ワーク中心到達距離：397.7 mm 旋回角度(θ軸)：340度上下ストローク(Z軸)：200 mm
搬送速度(平均)	アーム(R軸)：330 mm/sec 旋回角度(θ軸)：280 度上下ストローク(Z軸)：130 mm/sec
搬送速度(最高)	アーム(R軸)：500 mm/sec 旋回角度(θ軸)：480度/sec 上下ストローク(Z軸)：170 mm/sec
繰り返し精度	±0.1 mm以内
クリーン度	ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ	電流電圧：DC24V±10% 真空：-53 kPa以上
質量	ロボット本体約20 kg
コントローラ仕様
コントローラ型式	C4000シリーズ
インタフェース	RS232C及びパラレルフォトI/O

外観図ダウンロード

外観図（標準仕様）

型式	リストブロック長	マッピングセンサ	取付チャック厚
SARS00169	38 mm	なし	2 mm
SARS00958	38 mm	なし	3 mm
SARS02659	75 mm	なし	2 mm
SARS02967	75 mm	なし	3 mm
SARS08603	80 mm	透過センサ/反射型センサ	2 mm

※上記は当社標準リストブロックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のリストブロックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

型式	披搬送サイズ	チャック形状(チャック厚)	保持方式
SC-IW-200	3'',100 mm〜200 mm	I 型(2 mm)	吸着保持
SC-IW-240	3'',100 mm〜300 mm	I 型(2 mm)	吸着保持
SC-YW-200	100 mm〜200 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
SC-YW-227	100 mm〜300 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
SC-YW-240	100 mm〜300 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
3D-02229	150 mm〜300 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
SC3-YW-240	300 mm	Y 型(3 mm)	吸着保持
3D-01661	300 mm	Y 型(3 mm)	吸着保持

※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

※表記の到達距離はリストブロックユニット及びチャックの組み合わせによる一例です。上記以外にも設定可能です。
チャック/リストブロック	SARS00169	SARS02659	SARS08603	SARS00958	SARS02967
SC-IW-200	442.7 mm	505 mm	510 mm	-	-
SC-IW-240	482.7 mm	545 mm	550 mm	-	-
SC-YW-200	452.7 mm	515 mm	520 mm	-	-
SC-YW-227	479.7 mm	542 mm	547 mm	-	-
SC-YW-240	492.7 mm	555 mm	560 mm	-	-
3D-02229	492.7 mm	555 mm	560 mm	-	-
SC3-YW-240	-	-	-	492.7 mm	555 mm
3D-01661	-	-	-	492.7 mm	555 mm