半導体搬送ロボット

SCR3160CS3軸円筒座標型クリーンロボット

動画はSCR3160CS-300-PMです

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。
EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

本仕様は当社標準チャック（吸着タイプ）装着時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式	SCR3160CS-300-PM
リストブロック	SARS00169
チャック	SC-YW-240
被搬送物	〜300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式	チャックによる真空吸着
機械構造形式	円筒座標型
制御軸	3軸
モータタイプ	ステッピングモータ
動作範囲	ワーク中心到達距離：502.7 mm 旋回角度(θ軸)：340度上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度(平均)	アーム(R軸)：610 mm/sec 旋回角度(θ軸)：340度/sec 上下ストローク(Z軸)：250 mm/sec
搬送速度(最高)	アーム(R軸)：1220 mm/sec 旋回角度(θ軸)：500度/sec 上下ストローク(Z軸)：320 mm/sec
繰り返し精度	±0.1 mm以内
クリーン度	ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ	電源：DC24V±10% 15A 真空：-53 kPa以上
質量	ロボット本体約25 kg
コントローラ仕様
コントローラ型式	C4000シリーズ
インタフェース	RS232C及びパラレルフォトI/O

標準外観図ダウンロード（マッピング機能なし）

標準外観図ダウンロード（マッピング機能付）

外観図（標準仕様）※下記はマッピング機能のない標準外観図です。

型式	リストブロック長	マッピングセンサ	取付チャック厚
SARS00169	38 mm	なし	2 mm
SARS00958	38 mm	なし	3 mm
SARS02659	75 mm	なし	2 mm
SARS02967	75 mm	なし	3 mm
SARS08603	80 mm	透過センサ/反射型センサ	2 mm

※上記は当社標準リストブロックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のリストブロックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

型式	披搬送サイズ	チャック形状(チャック厚)	保持方式
SC-IW-200	3'',100 mm〜200 mm	I 型(2 mm)	吸着保持
SC-IW-240	3'',100 mm〜300 mm	I 型(2 mm)	吸着保持
SC-YW-200	100 mm〜200 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
SC-YW-227	100 mm〜300 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
SC-YW-240	100 mm〜300 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
3D-02229	150 mm〜300 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
SC3-YW-240	300 mm	Y 型(3 mm)	吸着保持
3D-01661	300 mm	Y 型(3 mm)	吸着保持

※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

チャック/リストブロック	SARS00169	SARS02659	SARS08603	SARS00958	SARS02967
SC-IW-200	502.7 mm	565 mm	570 mm	-	-
SC-IW-240	542.7 mm	605 mm	610 mm	-	-
SC-YW-200	512.7 mm	575 mm	580 mm	-	-
SC-YW-227	539.7 mm	602 mm	607 mm	-	-
SC-YW-240	552.7 mm	615 mm	620 mm	-	-
3D-02229	552.7 mm	615 mm	620 mm	-	-
SC3-YW-240	-	-	-	552.7 mm	615 mm
3D-01661	-	-	-	552.7 mm	615 mm