アライナ
SVAL3001（真空アライナ）ウェーハ用アライナ
環境と仕様
製品概要
- 製品型式
- SVAL3001
- 設置環境
- クリーンルーム内真空
- 被搬送サイズ
- 100 mm〜300 mm, 他
- 被搬送物
- シリコンウェーハ, 各種サセプタ
製品動画
製品特徴
真空環境下におけるシリコンウェーハやサセプタ（化合物半導体、シリコンウェーハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。
- 可搬質量：4 kg
- 位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本機単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUP（大気環境下に当社標準コントローラを設置する必要があります）
- 真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用
- 動作モニタ装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- インデックス機能によりトレイ内のウェーハ配置状態に合わせて任意の角度に旋回
標準仕様
| 被搬送物 | SEMI規格 シリコンウェーハ 100 mm〜300 mm、各種サセプタ |
|---|---|
| 位置決め時間 | ノッチサーチ:4秒以内(持ち直し動作なしの場合) |
| 位置決め精度 | センタリング：±0.3 mm以内 ノッチロケート：±0.3度以内 |
| センサ | 耐真空限定反射型センサ |
| 耐真空度 | 1.33x10-6Pa |
| 駆動方式 | 2相ステッピングモータ3軸使用 コントローラ別置（内蔵していません） |
| ユーティリティ | 電源：DC24V±10% 8A |
