反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックを搭載。
弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。
サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。
ベルヌーイチャックには接触タイプ （動画上）と非接触タイプ （動画下）があります。

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