原因

マッピング（ワークサーチ）ゲート幅に問題があります。

対処

設定6：ワーク検出ゲート幅の設定(WWG設定)  を現在より小さく設定してください。
ワーク検出ゲート幅は下図の説明の場合、斜めと検出するためゲート幅の設定が大きい場合、上下のゲート幅が重なりワーク斜めを検出できません。

上記の場合は、1段目、2段目を斜めと判断します。

1. コマンドPMでマッピング（ワークサーチ）スタート位置に移動します。
2. コマンドWFSでマッピング（ワークサーチ）スタートします。
3. コマンドWFKでウェーハの有無を読み出します。

段数分、ウェーハ有のときは "1" 、無のときは "0" になります。
厚み不良は "W" 、位置のはずれたもの（斜め）は "E" となります。