半導体搬送ロボット
SCR3160CSN3軸円筒座標型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- SCR3160CSN
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- シングルアーム
- 到達距離
- 340 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 200 mm / 300 mm / 400 mm / 450 mm / 500 mm
- 可搬質量
- 3 kg (第3関節換算)
製品型式一覧
| 型式と昇降距離（mm） | |
|---|---|
| SCR3160CSN-200-CM | 200 mm |
| SCR3160CSN-300-CM | 300 mm |
| SCR3160CSN-400-CM | 400 mm |
| SCR3160CSN-450-CM | 450 mm |
| SCR3160CSN-500-CM | 500 mm |
製品特徴
クローズドループ制御のロボットに、疑似多軸仕様をラインナップしました。
走行軸なしで並列配置されたチャンバーステージへ搬送することができます。
疑似多軸仕様の搬送動画についてはこちらをご覧ください。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300 mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。
- 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上
- アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮
- バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載
- 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能
- 高剛性・アーム第3関節換算3 kg (リストブロック、チャック、ワーク含む）
- アームバリエーション：100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
- 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能
- ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | SCR3160CSN-300-CM |
| 被搬送物 | ～300 mmウェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） |
| ウェーハ保持方式 | チャックによる真空吸着 |
| 機械構造形式 | 円筒座標型 |
| 制御軸 | 3軸 |
| モータタイプ | ステッピングモータ（クローズドループ） |
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：552.7 mm 旋回角度(θ軸)：340度 上下ストローク(Z軸)：300 mm |
| 搬送速度(平均) | アーム(R軸)：610 mm/sec 旋回角度(θ軸)：340 度/sec 上下ストローク(Z軸)：250 mm/sec |
| 搬送速度(最高) | アーム(R軸)：1220 mm/sec 旋回角度(θ軸)：500度/sec 上下ストローク(Z軸)：320 mm/sec |
| 分解能 | アーム(R軸)：10.0 µm以下 旋回角度(θ軸)：0.0015度 上下ストローク(Z軸)：2.0 µm |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| クリーン度 | ISOクラス2(駆動部排気時) |
| ユーティリティ | 電流電圧：DC24V±10% 10A 真空：-53 kPa以上 |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | C4000Bシリーズ |
| インタフェース | RS232C及びパラレルフォトI/O |
オプション
リストブロックユニット
| 型式 | リストブロック長 | マッピングセンサ | 取付チャック厚 |
|---|---|---|---|
| SARS00169 | 38 mm | なし | 2 mm |
| SARS00958 | 38 mm | なし | 3 mm |
| SARS02659 | 75 mm | なし | 2 mm |
| SARS02967 | 75 mm | なし | 3 mm |
| SARS08603 | 80 mm | 透過センサ/反射型センサ | 2 mm |
※上記は当社標準リストブロックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のリストブロックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。
チャックユニット
| 型式 | 披搬送サイズ | チャック形状(チャック厚) | 保持方式 |
|---|---|---|---|
| SC-IW-200 | 3'',100 mm〜200 mm | I 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-IW-240 | 3'',100 mm〜300 mm | I 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-200 | 100 mm〜200 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-227 | 100 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-240 | 100 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| 3D-02229 | 150 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC3-YW-240 | 300 mm | Y 型(3 mm) | 吸着保持 |
| 3D-01661 | 300 mm | Y 型(3 mm) | 吸着保持 |
| SC3-IW-240 | 300 mm | I 型(3 mm) | 吸着保持 |
※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。
到達距離
| チャック/リストブロック | SARS00169 | SARS02659 | SARS08603 | SARS00958 | SARS02967 |
|---|---|---|---|---|---|
| SC-IW-200 | 502.7 mm | 565 mm | 570 mm | - | - |
| SC-IW-240 | 542.7 mm | 605 mm | 610 mm | - | - |
| SC-YW-200 | 512.7 mm | 575 mm | 580 mm | - | - |
| SC-YW-227 | 539.7 mm | 602 mm | 607 mm | - | - |
| SC-YW-240 | 552.7 mm | 615 mm | 620 mm | - | - |
| 3D-02229 | 552.7 mm | 615 mm | 620 mm | - | - |
| SC3-YW-240 | - | - | - | 552.7 mm | 615 mm |
| 3D-01661 | - | - | - | 552.7 mm | 615 mm |
| SC3-IW-240 | - | - | - | 542.7 mm | 605 mm |
その他のオプション
※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。