半導体搬送ロボット

SCR3160CSN3軸円筒座標型クリーンロボット

クローズドループ制御のロボットに、疑似多軸仕様をラインナップしました。
走行軸なしで並列配置されたチャンバーステージへ搬送することができます。
疑似多軸仕様の搬送動画についてはこちらをご覧ください。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300 mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。

本仕様は当社標準チャック（吸着タイプ）装着時の仕様です
ロボット仕様
ロボット型式	SCR3160CSN-300-CM
被搬送物	～300 mmウェーハ（その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します）
ウェーハ保持方式	チャックによる真空吸着
機械構造形式	円筒座標型
制御軸	3軸
モータタイプ	ステッピングモータ（クローズドループ）
動作範囲	ワーク中心到達距離：552.7 mm 旋回角度(θ軸)：340度上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度(平均)	アーム(R軸)：610 mm/sec 旋回角度(θ軸)：340 度/sec 上下ストローク(Z軸)：250 mm/sec
搬送速度(最高)	アーム(R軸)：1220 mm/sec 旋回角度(θ軸)：500度/sec 上下ストローク(Z軸)：320 mm/sec
分解能	アーム(R軸)：10.0 µm以下旋回角度(θ軸)：0.0015度上下ストローク(Z軸)：2.0 µm
繰り返し精度	±0.1 mm以内
クリーン度	ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ	電流電圧：DC24V±10% 10A 真空：-53 kPa以上
コントローラ仕様
コントローラ型式	C4000Bシリーズ
インタフェース	RS232C及びパラレルフォトI/O

外観図ダウンロード

外観図（標準仕様）

型式	リストブロック長	マッピングセンサ	取付チャック厚
SARS00169	38 mm	なし	2 mm
SARS00958	38 mm	なし	3 mm
SARS02659	75 mm	なし	2 mm
SARS02967	75 mm	なし	3 mm
SARS08603	80 mm	透過センサ/反射型センサ	2 mm

※上記は当社標準リストブロックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のリストブロックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

型式	披搬送サイズ	チャック形状(チャック厚)	保持方式
SC-IW-200	3'',100 mm〜200 mm	I 型(2 mm)	吸着保持
SC-IW-240	3'',100 mm〜300 mm	I 型(2 mm)	吸着保持
SC-YW-200	100 mm〜200 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
SC-YW-227	100 mm〜300 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
SC-YW-240	100 mm〜300 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
3D-02229	150 mm〜300 mm	Y 型(2 mm)	吸着保持
SC3-YW-240	300 mm	Y 型(3 mm)	吸着保持
3D-01661	300 mm	Y 型(3 mm)	吸着保持
SC3-IW-240	300 mm	I 型(3 mm)	吸着保持

※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

※表記の到達距離はリストブロックユニット及びチャックの組み合わせによる一例です。上記以外にも設定可能です。
チャック/リストブロック	SARS00169	SARS02659	SARS08603	SARS00958	SARS02967
SC-IW-200	502.7 mm	565 mm	570 mm	-	-
SC-IW-240	542.7 mm	605 mm	610 mm	-	-
SC-YW-200	512.7 mm	575 mm	580 mm	-	-
SC-YW-227	539.7 mm	602 mm	607 mm	-	-
SC-YW-240	552.7 mm	615 mm	620 mm	-	-
3D-02229	552.7 mm	615 mm	620 mm	-	-
SC3-YW-240	-	-	-	552.7 mm	615 mm
3D-01661	-	-	-	552.7 mm	615 mm
SC3-IW-240	-	-	-	542.7 mm	605 mm