ベルヌーイチャックの吸着確認
ベルヌーイチャックの吸着確認が可能なサイズは150mm, 200mm, 300mmです。
アライメント精度測定
測定治具を使用してお客様のウェーハを使用したアライメントの精度測定ができます。
ロボット操作のトレーニング
Jテクセンターでは、ロボットの実機を使用したトレーニングができます。
Jテクセンターは、ロボットやベルヌーイチャックなどのジェーイーエル主力製品を中心とした展示を行っているショールームです。
事前にご連絡頂ければ、お客様のワークを使用してロボットの動作確認を行うことも可能です。
また、実機を使用して操作のトレーニングも行っておりますので、お気軽にご利用ください。
※ご利用頂くには、事前予約が必要です。
EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。全軸ACサーボモータを使用しているため、ウェーハ以外にもトレイ、小型のガラス基板などを搬送することができます。
EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。
スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボット。 300 mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
薄物ウェーハ、照明用小型ガラス基板の搬送をベルヌーイチャックで搬送提案します。アライナは薄物150、200mm兼用の薄物ウェーハ用です。
2、3インチ、100mm ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハやガラス基板に対応。卓上にある顕微鏡や検査装置の半自動化を行うのに最適です。
多くのお客様のニーズにお応えし、反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックを開発しました。お客様のコンセプトに合わせたチャック形状の提案を行います。