技術情報
サーボモータの製品一覧表
サーボモータを使用した当社ロボットの一覧表です。
当社製品型式においてサーボモータを使用したロボットへは「AM」が表記されます。
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例：GCR4210-300-AM（サーボモータ）
| 機種 | アーム/ チャック |
機械構造 | モータ仕様 | 被搬送物 |
|---|---|---|---|---|
| GCR4210 （サーボモータ仕様） |
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4軸水平 多関節型 |
ACサーボモータ | 〜300 mmウェーハ |
| GCR4280 （300 mmウェーハ搬送） |
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4軸水平 多関節型 |
ACサーボモータ | 300 mmウェーハ |
| GTCR5280 （300 mmウェーハ搬送） |
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5軸水平 多関節型 |
全軸ACサーボモータ | 〜300 mmウェーハ |
| GTFR5280 （300 mmウェーハ対応） |
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5軸水平 多関節型 |
全軸ACサーボモータ （バッテリレス） |
〜300 mmウェーハ |
| GTVCR5330 | |
5軸真空水平 多関節型 |
全軸ACサーボモータ | 〜300 mmウェーハ |
| JCR4400 （PLP対応自動アライメント 機能付ロボット） |
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4軸水平 多関節型 |
ACサーボモータ | 500 mm x 500 mm 基板 |
| JVCR4330 | |
4軸真空水平 多関節型 |
ACサーボモータ | 700 mm サセプタ（10 kg） |
| MCR3160C | |
3軸円筒 座標型 |
全軸ACサーボモータ | ～300 mmウェーハ |
| MTCR4160 | |
4軸円筒 座標型 |
全軸ACサーボモータ | ～300 mmウェーハ |
| MTCR4200 | |
4軸円筒 座標型 |
全軸ACサーボモータ | ～300 mmウェーハ |
| STVCR4160 （サーボモータ仕様） |
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4軸円筒 座標型 |
全軸ACサーボモータ | ～300 mmウェーハ |
| STVCR4190（サーボモータ アブソリュート エンコーダ仕様） |
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4軸円筒 座標型 |
全軸ACサーボモータ | 300 mmウェーハ |