技術情報
ステッピングモータの製品一覧表
ステッピングモータを使用した当社ロボットの一覧表です。
当社製品型式においてステッピングモータを使用したロボットへは「PM」が表記されます。
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例：GCR4210-300-PM（ステッピングモータ）
| 機種 | アーム/ チャック |
機械構造 | モータ仕様 | 被搬送物 |
|---|---|---|---|---|
| SCR3100S （小径ウェーハ用） |
 |
3軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | ～150 mmウェーハ |
| SCR3130CS | |
3軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 〜300 mmウェーハ |
| SCR3160CS | |
3軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 〜300 mmウェーハ |
| SSCR3090S （小径ウェーハ用） |
|
3軸円筒 座標型 |
全軸ステッピングモータ | ～100 mmウェーハ |
| STCR4130S |  |
4軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 〜300 mmウェーハ |
| STCR4160S | |
4軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 〜300 mmウェーハ |
| STCR4160S （ツインアーム反転機構付） |
|
4軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 150 mm, 200 mmウェーハ |
| STCR4160SN （薄物ウェーハ及び ウェーハ周辺接触吸着対応） |
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4軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 〜300 mmウェーハ |
| STWCR4160 （防水対応） |
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4軸円筒 座標型 |
2相パルスモータ | 〜300 mmウェーハ |
| SVCR3160 | |
3軸円筒 座標型 |
全軸2相 ステッピングモータ |
～300 mmウェーハ |
| SVCR3190 （高剛性仕様） |
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3軸円筒 座標型 |
全軸2相 ステッピングモータ |
〜300 mmウェーハ |
| SVCR3260 | |
3軸円筒 座標型 |
全軸2相 ステッピングモータ |
～300 mmウェーハ |
| SVCR3330S （サセプタ・トレイ搬送仕様） |
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3軸円筒 座標型 |
全軸2相 ステッピングモータ |
342 mmトレイx2 （代表例） |
| SWCR3160CS （防水対応） |
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3軸円筒 座標型 |
2相パルスモータ | ～300 mmウェーハ |